一种用于大口径凹非球面镜面型精度干涉检测的装置

摘要

本发明涉及一种用于大口径凹非球面镜面型精度干涉检测的装置，属于非球面表面面形质量检测装置。激光干涉仪、补偿透镜一调整支架、补偿透镜二调整支架、非球面镜调整装置放置在隔振平台上，补偿透镜一与补偿透镜一调整支架固定连接，补偿透镜二与补偿透镜二调整支架固定连接。优点是结构新颖，直线运动精度在亚毫米级，回转运动精度在1秒量级，从而降低了成本，可在不采用拼接方法的同时，检测光路短，剩余像差小，可实现大口径回转对称凹非球面光学元件面型的高精度检测，便于安装和拆卸，节省了检测时的人工成本。