公开/公告号CN108025909A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 马克斯-普朗克科学促进学会;
申请/专利号CN201680048204.X
申请日2016-08-12
分类号B81C1/00(20060101);B82Y10/00(20060101);B82Y40/00(20060101);G02B1/118(20060101);H01L21/3065(20060101);H01L21/308(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人周家新
地址 德国慕尼黑
入库时间 2023-06-19 05:17:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-05
实质审查的生效 IPC(主分类):B81C1/00 申请日:20160812
实质审查的生效
2018-05-11
公开
公开
机译: 包含单个衬底上的多个纳米结构梯度的纳米结构化基底的制造
机译: 包含单个衬底上的多个纳米结构梯度的纳米结构基体的制造
机译: 包含单个衬底上的多个纳米结构梯度的纳米结构基体的制造