一种热真空条件下振动传感器激光校准装置及方法

摘要

本发明涉及一种热真空条件下振动传感器激光校准装置及方法，装置包括振动台(8)、热真空系统、激光测振仪(2)及数据处理系统；被校传感器(27)位于真空腔(7)内；通过设定的真空度和温度，热真空系统获得校准所需要的温度和真空度条件。激光测振仪的出射光通过真空腔顶部光学窗口(5)内的角锥棱镜(3)入射至被校传感器(27)上的靶点(26)，激光经靶点(26)反射再次通过角锥棱镜(3)回至激光测振仪(2)，激光测振仪(2)对被校传感器(27)振动量进行采集。本发明能够在试验现场模拟温度和真空度变化对传感器性能影响，消除了现有传感器校准环境与使用环境不同所引起的测量误差，提高了校准精度。