一种测定四氟化硅气体中杂质磷、硼、砷含量的方法

摘要

本发明公开了一种测定四氟化硅气体中杂质磷、硼、砷含量的方法，其特征在于：包括如下步骤；配制NaOH吸收液；将经浓硫酸吸收、含有沸石的浓硫酸吸收、浓硫酸吸收、浓硫酸吸收净化后的SiF4通入盛装前述NaOH吸收液的吸收瓶；控制SiF4气体的吸收量得到测试样品，并测定吸收的SiF4气体重量；用电感耦合等离子体原子发射光谱法分析气体中的磷、硼、砷含量。