一种改善IGZO薄膜晶体管的稳定性的方法

摘要

本发明提供一种改善IGZO薄膜晶体管稳定性的方法，该方法包括下述步骤：在基板上形成IGZO薄膜晶体管；在IGZO薄膜晶体管上形成钝化层；对钝化层进行疏水化处理，在钝化层上形成疏水基团。本发明提供的改善IGZO薄膜晶体管稳定性的方法，可以改善IGZO薄膜晶体管上钝化层阻挡水汽的效果，解决IGZO薄膜晶体管的阈值电压负向漂移的问题，避免阈值电压严重偏负，而导致IGZO薄膜晶体管失效。