公开/公告号CN107924823A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-04-17
原文格式PDF
申请/专利权人 住友电气工业株式会社;
申请/专利号CN201680049960.4
申请日2016-08-02
分类号H01L21/205(20060101);C30B29/36(20060101);H01L21/20(20060101);H01L21/336(20060101);H01L29/12(20060101);H01L29/78(20060101);
代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人王海川;穆德骏
地址 日本大阪府大阪市
入库时间 2023-06-19 05:03:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/205 申请日:20160802
实质审查的生效
2018-04-17
公开
公开
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