一种ZrMgN纳米结构薄膜及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种ZrMgN纳米结构薄膜及其制备方法和应用，所述薄膜分子式表示为(Zr,Mg)N，薄膜以ZrN为过渡层，薄膜的厚度为2～3μm。本发明所述ZrMgN纳米结构薄膜的显微结构为面心立方结构，兼具了高硬度以及优异的摩擦磨损性能；本发明所述ZrMgN纳米结构薄膜的制备方法具有工艺流程简单，生产效率高的优点；本发明所述ZrMgN纳米结构薄膜能够用于刀具涂层材料中，特别适用于高速、高温极端服役条件，以及高性能、干式切削方式领域。