大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机电弧源组件的驱动系统

摘要

本发明提供一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机电弧源组件的驱动系统，将旋转架通过转盘密封转动安装在炉体底板上，利用炉体底板下方的外部驱动机构驱动转盘旋转，并在旋转架与转盘之间形成一非真空腔室，转动轴密封转动水平穿出非真空腔室，另一驱动机构设置在非真空腔室内，驱动转动轴旋转，并通过转动轴将动力传递到真空区，然后通过传动机构带动升降台沿旋转架作升降运动。本发明驱动系统，可方便的实现动力从非真空区到真空区的传递，从而驱动安装其上的位于真空区中的电弧源组件，在水平面内作旋转运动和在竖直方向上作升降运动，且旋转运动和升降运动由两套独立的驱动机构分别控制，从而实现调速方便。