具有气敏元件制作步骤的可控湿度的半导体气敏元件的测试方法

摘要

本分案申请公开了一种具有气敏元件制作步骤的可控湿度的半导体气敏元件的测试方法，属于元件测试领域，用于解决现有甲醛气敏元件的测试方法不完善的问题，且湿度控制精度低的问题，技术要点是：具有：气敏元件制作步骤，半导体气体传感器测试系统组建与测试的步骤，及对半导体气体传感器测试系统及半导体气敏元件性能分析的步骤。本发明使得对于甲醛气敏元件的测试更为完善，且提高了湿度的可控性与控制精度。