用物理气相沉积法制备无机锡基钙钛矿太阳能电池的方法

摘要

本发明涉及一种用物理气相沉积法制备无机锡基钙钛矿太阳能电池的方法，所述无机锡基钙钛矿太阳能电池依次由柔性聚酰亚胺导电基体、锡基钙钛矿CsSnI3层、超薄金属基透明导电薄膜组成；制备方法包括：1)清洗基底；2)采用射频磁控溅射制备空穴传输层CuI；3)采用蒸镀法制备锡基钙钛矿CsSnI3层；4)采用射频磁控溅射制备电子传输层ZnO；5)采用连续磁控溅射法制备超薄金属基透明导电薄膜，即成无机锡基钙钛矿太阳能电池。本发明所制备的吸收层薄膜结晶性好、形貌易于控制，有利于提高钙钛矿太阳能电池的效率、增强钙钛矿太阳能电池稳定性、降低对温度和湿度的敏感性，同时，有效的避免重金属的污染。