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基座定位及旋转设备及使用方法

摘要

描述了用于在批处理腔室中对准大型基座的设备及方法。还描述了用于控制基座相对于气体分配组件的平行的设备及方法。

著录项

  • 公开/公告号CN107735857A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-02-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 应用材料公司;

    申请/专利号CN201680031819.1

  • 申请日2016-05-25

  • 分类号H01L21/687(20060101);C23C16/458(20060101);C23C16/455(20060101);

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人杨学春;侯颖媖

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2023-06-19 04:35:52

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/687 申请日:20160525

    实质审查的生效

  • 2018-02-23

    公开

    公开

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