公开/公告号CN107673766A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-02-09
原文格式PDF
申请/专利权人 河北高富氮化硅材料有限公司;
申请/专利号CN201610618916.2
申请日2016-08-02
分类号C04B35/591(20060101);C01B21/068(20060101);
代理机构
代理人
地址 054300 河北省邢台市临城县工业园区中兴大街北段路西
入库时间 2023-06-19 04:33:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-11
实质审查的生效 IPC(主分类):C04B35/591 申请日:20160802
实质审查的生效
2018-02-09
公开
公开
机译: 高纯锆或HA,溅射由高纯锆或AND和使用该靶制成的薄膜的靶,以及高纯锆或HA的生产方法以及高纯锆或HA的粉体的制备方法
机译: 高纯锆或HA,溅射由高纯锆或AND和使用该靶制成的薄膜的靶,以及高纯锆或HA的生产方法以及高纯锆或HA的粉体的制备方法
机译: 高纯锆或HA,溅射由高纯锆或AND和使用该靶制成的薄膜的靶,以及高纯锆或HA的生产方法以及高纯锆或HA的粉体的制备方法