一种窄粒度分布高纯氮化硅粉体的制备方法

摘要

本发明涉及一种窄粒度分布高纯氮化硅粉体的制备方法，属于氮化硅粉体的制备技术领域。具体步骤为：首先在高纯硅粉中加入氮化硅稀释剂，混合均匀得到氮化反应原料，然后控制氮化反应条件得到氮化硅，最后将反应得到的氮化硅经气流磨磨细分级得到窄粒度分布的高纯氮化硅粉体。该工艺不使用添加剂，多级粒度精确配比的粒料层可以充分利用反应放出的热能，多级净化纯化保证产品纯度，是一条经济、高效、环保且可进行大规模生产的工艺。