一种智能嗅觉气味阵列传感器及制作方法

摘要

本发明公开了一种智能嗅觉气味阵列传感器，其组成包括：芯片，所述的芯片上表面设置有电绝缘层，所述的电绝缘层内设置有加热器和测温器，所述的测温器设置在加热器之间，所述的电绝缘层上表面设置有不同类型的气味传感器膜层，不同类型所述的气味传感器膜层成阵列布置，所述的气味传感器膜层里嵌入不同类型气味传感器，所述的不同类型气味传感器上设置有传感器电极，所述的电绝缘层上表面两侧设置有数个电极引线柱。该传感器以微电子技术为主体，实现多传感器的阵列于同一芯片，用薄膜技术使传感器进入微米级，以纳米技术制造传感器，最大提高表面体积比，使传感器的灵敏度有质量上的超越。