使用对源辐射的角分布的多次采样的光刻术模拟

摘要

本发明公开了一种计算机实施的方法，该方法包括：确定通过光刻投影设备由沿着第一组一个或更多个方向传播的第一辐射部分所形成的第一分图像；确定通过光刻投影设备由沿着第二组一个或更多个方向传播的第二辐射部分所形成的第二分图像；通过以非相干的方式将第一分图像和第二分图像相加来确定一图像；其中第一组一个或更多个方向和第二组一个或更多个方向是不同的。