一种基于冷原子的超高/极高真空压力传感器

摘要

本发明公开了一种基于冷原子的超高/极高真空压力传感器，包括原子发生器、原子预冷却腔、冷原子真空压力感应腔及隔离腔，原子发生器与原子预冷却腔连通，原子预冷却腔与冷原子真空压力感应腔连通并形成级联结构，冷原子真空压力感应腔通过隔离腔与待测超高/极高真空系统连通。本发明可有效解决目前在超高/极高真空测量中采用电离规所存在的问题和不足，自身可作为初级真空标准，且无需校准，填补当前国际上尚未有对应的超高/极高真空初级标准的空白。