一种小型化冷原子真空压力传感系统

摘要

本发明公开了一种小型化冷原子真空压力传感系统。所述系统包括Li原子发射器、光束整形检测装置、冷原子真空压力感应腔、真空隔离腔。利用三角形纳米光栅对入射激光进行衍射产生六道不同光束，其中三道相互垂直的向内光束通过反射镜垂直反射，两次经过反射镜上的四分之一波片，产生偏振相反的对射光束。三道向内光束与其对射光束作为冷却光束与通电马鞍形反亥姆霍兹线圈形成三维磁光阱，对入射Li原子进行冷却捕获。通过测量囚禁冷原子的碰撞损失率得到待测超高/极高真空环境的真空压力。本发明有效解决了当前实验室冷原子真空标准系统规模大，不易携带的问题，提出了一种小型化冷原子真空压力传感系统，构建了集成芯片级系统，易于工程化应用。