一种堆栈式薄膜晶体管电极的喷墨打印制备方法

摘要

本发明公开了一种堆栈式薄膜晶体管电极的喷墨打印制备方法。该方法包括以下步骤：（1）基底的预处理：将基底清洗、烘干，备用；（2）栅极的沉积：在预处理后的基底上通过真空磁控溅射图形化制备栅极；（3）绝缘层的沉积：在沉积的栅极表面通过阳极氧化沉积绝缘层；（4）有源层的沉积：在沉积的绝缘层表面通过真空磁控溅射图形化制备有源层；（5）源漏电极的制备：在沉积的有源层表面通过喷墨打印图形化制备源漏电极，得到所述堆栈式薄膜晶体管电极。本发明方法采用喷墨打印方式制备源漏电极，制备得到薄膜晶体管电极，大大节约了生产成本，同时解决了打印电极的引出线时在跨越TFT器件台阶时产生的墨水流散和团聚问题。