公开/公告号CN107610848A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-19
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏亨通高压海缆有限公司;
申请/专利号CN201710675620.9
发明设计人 管弘丰;
申请日2017-08-09
分类号
代理机构苏州诚逸知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人高娟
地址 215500 江苏省苏州市常熟市经济开发区通达路8号
入库时间 2023-06-19 04:23:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-10
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01B13/32 申请公布日:20180119 申请日:20170809
发明专利申请公布后的驳回
2018-02-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01B13/32 申请日:20170809
实质审查的生效
2018-01-19
公开
公开
机译: 传热系统可改善半导体工艺的均匀性
机译: 传热系统可改善半导体工艺的均匀性
机译: 能够改善曝光设备的工艺纬度的微分光学元件以及具有相同原理的照明系统和使用微分光学元件制造半导体器件的方法