一种透射元件像差的高精度大动态范围测量系统及测量方法

摘要

本发明提供一种透射元件像差的高精度大动态范围测量系统及测量方法，涉及测量技术领域。它利用三坐标测量机对测量系统结构位置参数预标定，待测透射元件置于显示器屏幕与CCD相机之间，采用四步移相法求解出条纹对应的相位分布，并得到与相位对应的待测透射元件透射表面上的点投影在CCD相机中的实际光斑坐标值，再利用光线追迹法生成基于检验光路结构位置参数的理想坐标值，在此基础上对待测透射元件进行斜率误差计算，最后利用积分法得到元件像差数据。本发明解决了现有技术中非接触式的高精度透射元件表面检测的动态范围小、设备昂贵的技术问题。本发明为大动态范围的透射元件像差测量提供一种通用化可行方法，具有极其重要的实际应用价值。