一种平曲面透射元件表面的高精度大动态范围测量方法及测量系统

摘要

本发明提供一种平曲面透射元件表面的高精度大动态范围测量方法及测量系统，涉及测量技术领域。干涉仪测待元件平表得到面形数据；三坐标测量设备标定得到偏折光路系统结构位置参数；光线追迹建立理想光路系统得到理论坐标位置值；显示投影屏显示多步移相正弦灰度直条纹，计算机解出CCD相机拍摄的条纹对应的实际坐标位置值；由理论坐标位置值和实际坐标位置值得到对应坐标误差，计算得到待测曲面面形误差斜率分布，积分后得到待测元件曲表面面形误差。本发明解决了现有技术中高精度平曲面透射元件表面测量的测量动态范围小，设备昂贵的技术问题。本发明有益效果为：提供非接触高精度大动态范围的测量方法，实现检测设备的通用化。操作简单效率高。