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一种基于金属孔的磁性随机存取存储器结构及其金属孔、金属层制造工艺

摘要

本发明涉及一种基于金属孔的磁性随机存取存储器结构及其金属孔、金属层制造工艺,本发明利用金属孔替代与磁性隧道结相连金属层,从而来缩小位线的设计尺寸,在制造工艺上提供了重复曝光的方案来实现设计需求;本发明有效地提高了数据存储密度,降低了芯片面积。

著录项

  • 公开/公告号CN107565015A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-01-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中电海康集团有限公司;

    申请/专利号CN201610538031.1

  • 申请日2016-07-06

  • 分类号H01L43/08(20060101);H01L43/12(20060101);

  • 代理机构33216 杭州之江专利事务所(普通合伙);

  • 代理人张慧英

  • 地址 311121 浙江省杭州市余杭区文一西路998号海创园4号楼701室

  • 入库时间 2023-06-19 04:12:15

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-02-02

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L43/08 申请日:20160706

    实质审查的生效

  • 2018-01-09

    公开

    公开

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