基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究

摘要

以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源.探讨了不同厚度SU-8膜对金属/电介质/金属(M/D/M)二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外波段透射特性的影响.设计并制作了Au/SU-8/Au的M/D/M结构,测试采用傅里叶变换红外光谱仪器.同时对M/D/M结构不同电介质层情况下的中远红外波段透射特性进行了模拟.实验结果表明,SU-8厚度在小于1μm时,透射强度远大于厚度1μm以上的结构,且有透射强度最大值出现(SU-8厚度为360 nn),同时,随着SU-8厚度的增加,透射谱峰值呈现规律性红移.