一种晶圆支持板组件、抛光装置及晶圆精抛光方法

摘要

本发明提供一种晶圆支持板组件、抛光装置及晶圆精抛光方法，所述组件包括：本体部，用于吸附晶圆并在抛光时对晶圆施加压力；固定环，设于所述本体部的下部边缘，用于固定晶圆边缘或者限制晶圆与所述本体部之间的相对运动距离；其中：所述固定环采用陶瓷材质。本发明中，晶圆固定环的材质选用Al2O3或SiC陶瓷材质，这种材质机械强度高、耐磨性好，在摩擦过程中可以减少磨损，从而增加使用时间，减少更换次数，更重要的是减少了磨损产生的废料，从而降低废料对晶圆表面的划伤；此外，晶圆固定环下表面设计为槽型结构，可以让抛光液通过槽型结构流入到晶圆表面，从而解决了因固定环弯曲而导致抛光液很难进入晶圆边缘、使得晶圆边缘移除率降低的问题。