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用于静电放电电流波形检测的测试板

摘要

本发明提出用于CDM(Charged Device Model)模型ESD电流波形检测的测试板结构,以有效捕捉与国际上通用测试规范中典型波形一致的放电电流波形。该结构包括:用于直接接触放电器件的pogo(弹簧单高跷)探针,用于滤除高频干扰的滤波器,用于减小电流峰值方便测试的衰减器,用于转换电流信号的测试电阻以及用于连接所有部分的接地板。所述滤波器和衰减器位于所述接地板上,接地板接金属插座,用以连接示波器。所述接地板含有固定作用的结构,用于与测试系统的其他部分连接。

著录项

  • 公开/公告号CN107462759A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-12-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海北京大学微电子研究院;

    申请/专利号CN201610392043.8

  • 发明设计人 陆宇;陈昭;程玉华;

    申请日2016-06-06

  • 分类号

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 201203 上海市浦东新区盛夏路608号

  • 入库时间 2023-06-19 04:03:53

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-03-06

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R19/00 申请公布日:20171212 申请日:20160606

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2018-01-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R19/00 申请日:20160606

    实质审查的生效

  • 2017-12-12

    公开

    公开

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