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静电放电电流波形检测系统及测试方法

摘要

本发明提出ESD静电防护中的CDM模型的电流检测系统及测试方法,以完成对CDM模型的ESD电流波形的抓取,便于为以CDM模型为基础的ESD静电防护提供数据支持。该系统结构包括:用于支持的测试机台,机台底座上承载测试器件DUT(Device Under Test),机台支架,用于固定系统的检测模块。检测模块包括pogo(弹簧单高跷)探针、测试板等结构。测试机台使用铝合金材质制成,具有螺旋调节升降的功能,同时带有固定装置,可以固定设备的测试板,测试板为双层FR‑4板。Pogo探针为手机天线专用探针,可以满足18GHz及以下条件下的信号测试。同轴电缆特性阻抗为50Ω.所使用的校准模块(即校准电容)为FR‑4材料,电容值为4pF。

著录项

  • 公开/公告号CN107436382A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-12-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海北京大学微电子研究院;

    申请/专利号CN201610361369.4

  • 发明设计人 陈昭;程玉华;

    申请日2016-05-27

  • 分类号

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 201203 上海市浦东新区盛夏路608号1号楼

  • 入库时间 2023-06-19 03:54:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-03-10

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R23/16 申请公布日:20171205 申请日:20160527

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2017-12-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R23/16 申请日:20160527

    实质审查的生效

  • 2017-12-05

    公开

    公开

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