缺陷检查系统、膜制造装置以及缺陷检查方法

摘要

本发明提供能够容易地确定膜的缺陷的位置且能够更加容易地识别缺陷的种类的缺陷检查系统、膜制造装置以及缺陷检查方法。由缺陷检查系统(100a)的解析装置(6)的缺陷位置确定部(62)根据由缺陷检查系统的图像处理部(52)的变化量算出部(13)、同一部位判定提取部(14)、累计部(15)以及图像生成部(16)处理后的缺陷增强处理图像(E(t1))，来确定膜(2a)上的缺陷的位置，由解析装置的缺陷种类识别部根据由图像处理部的数据提取部以及数据保存部处理后的列分割图像来识别由缺陷位置确定部确定位置后的缺陷的种类。列分割图像容易识别缺陷的种类。因此，能够容易地确定缺陷的位置且能够更容易地识别缺陷的种类。