公开/公告号CN107433423A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-12-05
原文格式PDF
申请/专利权人 沈阳飞机工业(集团)有限公司;吉林航空维修有限责任公司;
申请/专利号CN201710839738.0
申请日2017-09-18
分类号B23P6/00(20060101);B23K15/00(20060101);B23K103/14(20060101);
代理机构21200 大连理工大学专利中心;
代理人梅洪玉
地址 110034 辽宁省沈阳市皇姑区陵北街1号
入库时间 2023-06-19 03:59:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-08
授权
授权
2017-12-29
实质审查的生效 IPC(主分类):B23P6/00 申请日:20170918
实质审查的生效
2017-12-05
公开
公开
机译: 电子束检测方法,用于扫描型电子显微镜的电子束检测方法,用于扫描型电子显微镜的尺寸校准方法以及用于电子束检测装置和扫描型电子显微镜的尺寸校准装置
机译: 电子束扫描机理,电子束装置,电子束曝光装置和电子束扫描方法
机译: 活化室和套件,用于处理设备中以降低电子亲和力,包含所述成套工具并用于降低电子亲和力的处理设备,光电阴极电子束源,含电子枪的电子枪,含电子阴极的电子电极显微镜,扫描电子显微镜,电子束全息照相术,电子束光刻设备,电子束衍射设备和电子束扫描设备