一种低气压大面积、高密度等离子体产生装置及产生方法

摘要

本发明提供一种低气压大面积、高密度等离子体产生装置及产生方法。等离子体产生装置包括真空系统、等离子体发生系统和基座；真空系统包括真空腔室、真空泵、真空蝶阀和真空规；等离子体发生系统包括上介质板、下介质板、低频交流电源、高频射频电源、上电极和下电极，上介质板嵌设在下介质板背离基座的一侧，上介质板与下介质板间包覆有下电极，上介质板背离下电极、且与下电极相对应处设置有上电极，上电极与上介质板之间设置有绝缘材料；低频交流电源与下电极连接，高频射频电源与下电极连接，上电极接地处理。该装置结构简单，基于介质阻挡放电技术与双频容性耦合技术，可在较低气压下，实现大面积、高密度等离子体放电。