一种基于数字全息技术的迈克尔逊干涉仪及其测量方法

摘要

本发明公开了一种基于数字全息技术的迈克尔逊干涉仪及其测量方法，该装置采用两个CCD相机代替传统迈克尔逊干涉仪中的平面反射镜，并引入与球面光相干的平面参考光与球面光发生干涉，利用数字全息技术直接获取两个CCD记录面上的球面光复振幅信息，然后通过最小二乘拟合获取球面光参数，并对球面光复振幅进行解调来得到居中后的球面光复振幅，最后通过数字干涉的方法实现两球面光的干涉。实验结果表明，该装置能实时生动地显示入射球面光的三维图像和两球面光的干涉图像，同时根据拟合得到的参数还能便捷地测量透明等厚介质的折射率，实验中测量了三种不同材料的折射率，其误差均能控制在5%以内，有较高的测量精度。