用于等离子体射流产生的半导体微空心阴极放电器件

摘要

用于等离子体射流产生的半导体微空心阴极放电器件。一种微空心阴极放电器件(100)。该器件(100)包括包含第一电极的第一电极层(102)。在所述第一电极层(102)中设置孔(110)。该器件(100)还包括电介质层(104)，所述电介质层(104)具有设置在所述第一电极层(102)上的第一表面。孔(110)从第一电极层(102)延续贯穿电介质层(104)。该器件还包括半导体层(106)，所述半导体层(106)设置在电介质层(104)的与第一表面相反的第二表面上。半导体层(106)是半导体材料，所述半导体材料横跨孔(110)，使得所述孔(110)终止于半导体层(106)。该器件还包括第二电极层(108)，所述第二电极层(108)与电介质层(104)相反地设置在半导体层(106)上。