一种扫描粒子束显微镜系统及聚焦控制方法

摘要

本发明公开了一种扫描粒子束显微镜，包括：扫描粒子束显微镜及聚焦控制系统；所述聚焦控制系统包括：两个照明成像装置，用于产生照明光束、以及传输从样品表面反射的携带聚焦图像的光束；两个反射装置，用于将对应的照明成像装置产生的照明光束反射到所述样品表面、以及将所述样品表面反射的携带聚焦图像的光束反射到所述探测装置；两个探测装置，用于接收从所述样品表面反射的携带聚焦图像的光束，并探测所述光束携带的聚焦图像；聚焦控制装置，用于对所述聚焦图像进行处理，获得所述样品的距离属性，并根据所述距离属性调节所述样品的位置参数，用以控制所述扫描粒子束显微镜的工作距离。本发明还公开了一种聚焦控制方法。