一种纳米多层梯度复合的抗冲蚀涂层结构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种纳米多层梯度复合的抗冲蚀涂层结构，从基体到涂层表面，所述涂层结构依次含有渗氮层、“嵌入式结合层”以及由Ti金属层、Ti→TiN梯度层和TiN/Ti纳米多层循环叠加组成的结构。此外，本发明公开了上述涂层结构的制备方法：通过表面渗氮，使基体表面及亚表面的材料属性与涂层材料相似，以缓解膜基交界处的应力集中现象；采用金属真空蒸汽离子源注入方法，对渗氮后的基体表面进行离子注入，形成“嵌入式结合层”；在结合层之上，采用磁过滤真空阴极弧沉积方法，通过连续控制输入的N2流量，沉积由Ti金属层、Ti→TiN梯度层以及TiN/Ti纳米多层依次组成的周期性循环结构。所述纳米梯度多层复合涂层结构兼具了高硬度、高韧性以及优良的膜基结合力，从而具有很好的抗冲蚀性能。