一种基于光散射的光学薄膜LIDT测试装置与测试方法

摘要

本发明公开了一种基于光散射的光学薄膜LIDT测试装置，包括共光轴依次设置脉冲激光器、半波片、格兰‑泰勒棱镜、会聚透镜和待测样品，其所在的光轴为脉冲击打光轴；还包括构成共光轴测试光路的半导体激光器、扩束镜和孔径光阑，其所在的光轴为测试光轴，测试光轴与脉冲击打光轴存在夹角α，半导体激光器发出测试光，经扩束镜和孔径光阑后，射到待测样品前表面，经待测样品前表面散射，被CCD探测器接收；脉冲激光器发出的脉冲激光经半波片至格兰‑泰勒棱镜，经格兰‑泰勒棱镜反射和透射，透射光经会聚透镜会聚至待测样品。本发明更加稳定和高效，且适合在光学工厂中使用和搭建，成本低廉，操作简便。