用于提供可平坦化的工件支承件的方法、工件平坦化装置和卡盘

摘要

本申请设计用于提供可平坦化的工件‑支承件的方法、工件平坦化装置和卡盘。根据多个不同的实施方案，工件平坦化装置可以包括：卡盘，该卡盘包括构造成支承一个或更多个工件的至少一个部分；以及平坦化工具，该平坦化工具构造成对卡盘的至少一个部分进行平坦化以及对卡盘的至少一个部分上的一个或更多个工件进行平坦化；其中卡盘的至少一个部分包括颗粒、孔和/或聚合物中的至少一者。