公开/公告号CN107230616A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-10-03
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201710183995.3
申请日2017-03-24
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人李献忠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 03:30:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/3065 申请日:20170324
实质审查的生效
2017-10-03
公开
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