公开/公告号CN107236574A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-10-10
原文格式PDF
申请/专利权人 加拿大艾浦莱斯有限公司;
申请/专利号CN201710431712.2
申请日2017-06-09
分类号C10J3/00(20060101);C10J3/57(20060101);C10J3/84(20060101);
代理机构32112 南京天翼专利代理有限责任公司;
代理人王晶
地址 加拿大安大略省渥太华市
入库时间 2023-06-19 03:27:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-03
实质审查的生效 IPC(主分类):C10J3/00 申请日:20170609
实质审查的生效
2017-10-10
公开
公开
机译: 等离子体处理系统的成员,处理系统的成员,等离子体处理系统,处理系统和等离子体处理方法
机译: 盖板,包括该盖板的等离子体处理系统以及等离子体处理系统的等离子体处理方法
机译: 用于原位清洁的等离子体清洁环,包括等离子体环的等离子体处理设备,包括等离子体清洁环的等离子体处理系统以及使用等离子体清洁环的等离子体处理方法