一种激光辅助加热飞秒脉冲激光打孔装置及方法

摘要

本发明公开了一种激光辅助加热飞秒脉冲激光打孔装及方法，该装置包括飞秒脉冲激光器，第一扩束器，CCD相机，反射平面镜，分束镜，凸透镜，第二扩束器，连续激光器，飞秒脉冲激光控制器，连续激光控制器，工件，夹具，可移动工作台，工作台控制器，计算机；同时提供了采用上述装置的一种激光辅助加热飞秒脉冲打孔方法，其主要原理是在飞秒脉冲激光器对工件加工之前，采用连续激光器对工件要加工区域进行预热，预热过程材料不发生相变，从而在保证飞秒激光的加工优点的同时，提高材料对飞秒脉冲激光的吸收率，降低飞秒激光加工材料的烧蚀阈值，提高飞秒脉冲激光打孔效率。