公开/公告号CN107083552A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-22
原文格式PDF
申请/专利权人 东友精细化工有限公司;
申请/专利号CN201610694790.7
申请日2016-08-19
分类号
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人钟晶
地址 韩国全罗北道
入库时间 2023-06-19 03:12:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-24
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23F1/18 申请公布日:20170822 申请日:20160819
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-09-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C23F1/18 申请日:20160819
实质审查的生效
2017-08-22
公开
公开
机译: 多层金属膜的无氟蚀刻液组合物和使用相同方法蚀刻多层金属膜的方法
机译: 铜钼金属层合膜蚀刻液组合物,使用该组合物的蚀刻方法以及延长该组合物使用寿命的方法
机译: 用于铜和钼的多层金属膜的蚀刻剂组合物,使用该组合物的蚀刻方法以及延长该组合物寿命的方法