公开/公告号CN107104187A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-29
原文格式PDF
申请/专利权人 武汉华星光电技术有限公司;
申请/专利号CN201710245715.7
申请日2017-04-14
分类号
代理机构深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙);
代理人黄威
地址 430079 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
入库时间 2023-06-19 03:07:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-31
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L51/00 申请公布日:20170829 申请日:20170414
发明专利申请公布后的驳回
2017-09-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/00 申请日:20170414
实质审查的生效
2017-08-29
公开
公开
机译: 激光剥离设备,激光剥离方法,III族氮化物半导体自立基板的制造方法
机译: 基板剥离装置,基板剥离方法以及柔性显示装置的制造方法
机译: 基板剥离装置,基板剥离方法以及柔性显示装置的制造方法