公开/公告号CN107078081A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-18
原文格式PDF
申请/专利权人 艾克塞利斯科技公司;
申请/专利号CN201580056757.5
发明设计人 佐藤秀;
申请日2015-12-28
分类号H01L21/67(20060101);G01N29/09(20060101);G01N29/12(20060101);G01N29/24(20060101);G01N29/34(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人倪斌
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2023-06-19 03:07:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20151228
实质审查的生效
2017-08-18
公开
公开
机译: 基于振动或声学特性分析的晶片钳检测
机译: 基于振动或声学特性分析的晶片钳检测
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