一种带有旋转磁场的硅晶体生长炉

摘要

本发明提供一种带有旋转磁场的硅晶体生长炉，硅晶体生长炉内坩埚四周磁场发生装置；所述磁场发生装置包括固定于晶体生长炉的炉体的绝缘体；所述绝缘体上设有三相导线，三相导线按次序以ABC的形式堆叠缠绕在绝缘体上，同相导线并联。本发明通过在晶体生长炉内施加一个电磁场，该电磁场由三相导线绕制而成，由于三相电源存在的相位差线圈会产生旋转的磁场，坩埚内的硅液在磁力作用下旋转，加强了熔池的搅拌作用；在强对流下，熔池内的冷热区分布更加均匀，固液界面平坦，同时涡流会促使杂质元素向熔池中心聚集，方便顶吹氩气将杂质带走，加强整体排杂。通过平坦固液界面和加强排杂，得到位错更低，晶体质量更好的硅锭。