法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B7/00 申请日:20170523
实质审查的生效
2017-08-11
公开
公开
机译: 光学元件支撑装置,使用光学元件支撑装置的光学系统,调节光学系统的方法,曝光设备,曝光方法和设备制造方法
机译: 包括光学元件及其支撑物的光学系统,该光学元件及其支撑物可用于微光刻中的投影物镜,该光学系统具有光学元件表面的镍或硬质材料涂层以及由折射晶体材料构成的光学元件
机译: 用于光学元件的支撑装置,依赖于用于光学元件的支撑装置的光学系统,曝光设备和设备制造方法