线圈外壳低温等离子体表面处理方法及装置

摘要

本发明公开了一种线圈外壳低温等离子体表面处理方法及装置，依次通过喷淋清洗、超声波清洗、等离子体清洗和等离子体渗氮完成处理工艺，其装置包括架体和按处理顺序依次设于架体上的物料摆放区、漂洗机、超声波清洗机、第一等离子体清洗机、第二等离子体清洗机和真空等离子体刻蚀机，所述架体上沿处理顺序方向还设有横移模块，所述横移模块上设有升降模块，所述升降模块上设有旋转夹持机构，所述旋转夹持机构上设有与其配合使用的组合托盘，所述第一等离子体清洗机和第二等离子体清洗机上方分别设有多个等离子体喷枪。本发明能够彻底清除工件污染物，提高产品的综合性能。