公开/公告号CN106936062A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-07-07
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201511025468.7
申请日2015-12-30
分类号H01S3/10;H01L21/67;H01L21/268;H01L21/324;
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
入库时间 2023-06-19 02:45:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-05
著录事项变更 IPC(主分类):H01S3/10 变更前: 变更后: 申请日:20151230
著录事项变更
2017-08-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S3/10 申请日:20151230
实质审查的生效
2017-07-07
公开
公开
机译: 用于半导体装置的激光退火方法,半导体装置,激光退火方法,用于激光退火装置的控制装置以及激光退火装置
机译: 激光退火方法,用于半导体器件,半导体器件,激光退火方法,激光退火装置的控制装置和激光退火装置
机译: 激光退火装置激光退火激光辐射辐射装置串联输送路径和激光退火方法