横向快速扫描共焦测量装置及基于该装置的光学元件表面轮廓测量方法

摘要

横向快速扫描共焦测量装置及基于该装置的光学元件表面轮廓测量方法，属于光学领域，本发明为解决现有共焦逐点测量时轴向扫描效率低，导致对样品长时间照明容易引起中介层荧光猝灭，影响最终的面形测量精度的问题。本发明包括照明模块、扫描模块、探测模块和宽场成像模块；照明模块按照照明光传播方向依次为激光器、单模光纤、准直器、二向色镜、分光棱镜和物镜；探测模块按照信号光传播方向依次为物镜、分光棱镜、二向色镜、滤光片、第一收集透镜、多模光纤和光电倍增管；扫描模块包括二维扫描振镜、扫描透镜和管镜；宽场成像模块包括CCD和第二收集透镜。本发明用于大口径高曲率光学元件的测量。