用于MEMS传感器的折叠弹簧组以及MEMS传感器

摘要

用于MEMS传感器的折叠弹簧组，包括至少一个折叠弹簧，所述折叠弹簧连接一可动部件与一固定部件，所述可动部件、固定部件、以及折叠弹簧设置在同一平面内，所述折叠弹簧的轴向与所述可动部件的有效运动方向垂直。