用于切割脆硬材料的方法和系统

摘要

本发明涉及一种用于切割脆硬材料的方法，该方法包括下列步骤：借助于缺陷产生方法沿切割路径在脆硬材料中产生多个在脆硬材料的厚度方向上不连续的缺陷；以及沿切割路径分离脆硬材料。本发明还涉及一种用于切割脆硬材料的系统。借助于根据本发明的方法或系统，可以以较高精度、较少不期望的材料损伤与损耗和较低成本实现脆硬材料的切割。