光学量测系统、提升干涉图像品质以及量测圆柱度的方法

摘要

本发明提供一种光学量测系统、提升干涉图像品质以及量测圆柱度的方法，光学量测系统包括光学量测单元以及图像处理单元。光学量测单元包括光源、分光镜、反射件以及光接收器。图像处理单元耦接于光接收器并获取干涉图像。在改变待测表面被来自光源的光束照射的位置时，图像处理单元获取对应待测表面被光束照射的多个位置的多个干涉图像，并依据各干涉图像中干涉条纹的变化量去计算待测表面的位置的高低变化，从而推得待测物的圆柱度，因此，具有量测速度快、方便携带以及不会刮伤待测物的待测表面等优点。