α/β表面污染阵列探测器及探测系统

摘要

本发明实施例提供了一种α/β表面污染阵列探测器及探测系统。该α/β表面污染阵列探测器包括控制器、电机驱动电路、计数器、多道比较器、高压模块及多个探测器单元。每个探测器单元包括直线电机及依次电性连接的前放电路、光电倍增管及α/β复合探测器，α/β复合探测器的探头设置在直线电机的伸缩机构上，可随伸缩机构的运动而运动，电机驱动电路与直线电机、控制器均电连接，多道比较器与前放电路、计数器均电连接，高压模块与光电倍增管、控制器均电连接，控制器还与计数器电连接。本发明实施例通过设置多个α/β复合探测器，通过电机驱动电路和直线电机控制每个探测器探头的伸缩距离，达到多点测量以及精准测量的目的，操作方便。